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Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.

Greiner, F. ; Schlaak, Helmut F. ; Tschulena, G. ; Korb, W. :
Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.
[Online-Edition: http://www.hessen-nanotech.de/mm/Broschuere_Mikro-Nano-Integ...]
In: Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung., 13 (1)
[Artikel], (2009)

Offizielle URL: http://www.hessen-nanotech.de/mm/Broschuere_Mikro-Nano-Integ...
Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2009
Autor(en): Greiner, F. ; Schlaak, Helmut F. ; Tschulena, G. ; Korb, W.
Titel: Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.
Sprache: Deutsch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung.
Band: 13
(Heft-)Nummer: 1
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Aug 2010 15:11
Offizielle URL: http://www.hessen-nanotech.de/mm/Broschuere_Mikro-Nano-Integ...
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