Greiner, F. and Schlaak, Helmut F. and Tschulena, G. and Korb, W.
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Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.
[Online-Edition: http://www.hessen-nanotech.de/mm/Broschuere_Mikro-Nano-Integ...]
In:
Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung., 13
(1)
[Article], (2009)
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Erschienen: | 2009 |
| Creators: | Greiner, F. and Schlaak, Helmut F. and Tschulena, G. and Korb, W. |
| Title: | Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik. |
| Language: | German |
| Journal or Publication Title: | Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung. |
| Volume: | 13 |
| Number: | 1 |
| Divisions: | Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date Deposited: | 20 Aug 2010 15:11 |
| Official URL: | http://www.hessen-nanotech.de/mm/Broschuere_Mikro-Nano-Integ... |
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