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Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.

Greiner, F. and Schlaak, Helmut F. and Tschulena, G. and Korb, W. (2009):
Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.
In: Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung., 13 (1), [Article]

Item Type: Article
Erschienen: 2009
Creators: Greiner, F. and Schlaak, Helmut F. and Tschulena, G. and Korb, W.
Title: Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.
Language: German
Journal or Publication Title: Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung.
Journal volume: 13
Number: 1
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 20 Aug 2010 15:11
Official URL: http://www.hessen-nanotech.de/mm/Broschuere_Mikro-Nano-Integ...
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