TU Darmstadt / ULB / TU-Bibliographie

Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.

Greiner, F. and Schlaak, Helmut F. and Tschulena, G. and Korb, W. :
Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.
[Online-Edition: http://www.hessen-nanotech.de/mm/Broschuere_Mikro-Nano-Integ...]
In: Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung., 13 (1)
[Article], (2009)

Official URL: http://www.hessen-nanotech.de/mm/Broschuere_Mikro-Nano-Integ...
Item Type: Article
Erschienen: 2009
Creators: Greiner, F. and Schlaak, Helmut F. and Tschulena, G. and Korb, W.
Title: Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.
Language: German
Journal or Publication Title: Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung.
Volume: 13
Number: 1
Divisions: Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Date Deposited: 20 Aug 2010 15:11
Official URL: http://www.hessen-nanotech.de/mm/Broschuere_Mikro-Nano-Integ...
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