Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. (2007):
Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.
In: VDE/GMM-Fachbericht Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik , Bd. 53 (2007) , S. 41-47., [Book Section]
| Item Type: | Book Section |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Creators: | Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. |
| Title: | Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8. |
| Language: | German |
| Book Title: | VDE/GMM-Fachbericht Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik , Bd. 53 (2007) , S. 41-47. |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018) |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 16:02 |
| License: | [undefiniert] |
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