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Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.

Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. (2007)
Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.
In: VDE/GMM-Fachbericht Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik , Bd. 53
Book Section, Bibliographie

Item Type: Book Section
Erschienen: 2007
Creators: Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F.
Type of entry: Bibliographie
Title: Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.
Language: German
Date: 2007
Book Title: VDE/GMM-Fachbericht Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik , Bd. 53
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:02
Last Modified: 19 Apr 2016 08:13
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