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Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor

Rombach, Pirmin ; Umbach, ; Langheinrich, (1996)
Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor.
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 1996
Creators: Rombach, Pirmin ; Umbach, ; Langheinrich,
Type of entry: Bibliographie
Title: Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor
Language: German
Date: 1996
Series: Sensoren und Messysteme: GME/ITG Fachtagung 1996; Tagungsbd. S. 223-228
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 15:54
Last Modified: 05 Mar 2013 08:29
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