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Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial

Kohlstedt, Anika ; Schlaak, Helmut F. (2010)
Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial.
2. GMM Workshop - Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik. Darmstadt (10. Mai 2010)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

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Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2010
Creators: Kohlstedt, Anika ; Schlaak, Helmut F.
Type of entry: Bibliographie
Title: Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial
Language: German
Date: 10 May 2010
Event Title: 2. GMM Workshop - Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
Event Location: Darmstadt
Event Dates: 10. Mai 2010
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 04 Nov 2010 14:30
Last Modified: 19 Apr 2016 08:25
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  • Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial. (deposited 04 Nov 2010 14:30) [Currently Displayed]
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