Kohlstedt, Anika ; Schlaak, Helmut F. (2010):
Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial.
2. GMM Workshop - Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik, Darmstadt, 10. Mai 2010, [Conference or Workshop Item]
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| Item Type: | Conference or Workshop Item |
|---|---|
| Erschienen: | 2010 |
| Creators: | Kohlstedt, Anika ; Schlaak, Helmut F. |
| Title: | Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial |
| Language: | German |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018) 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems |
| Event Title: | 2. GMM Workshop - Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik |
| Event Location: | Darmstadt |
| Event Dates: | 10. Mai 2010 |
| Date Deposited: | 04 Nov 2010 14:30 |
| PPN: | |
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- Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial. (deposited 04 Nov 2010 14:30) [Currently Displayed]
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