Kohlstedt, Anika ; Schlaak, Helmut F. (2010)
Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial.
2. GMM Workshop - Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik. Darmstadt (10.05.2010-10.05.2010)
Conference or Workshop Item, Bibliographie
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| Item Type: | Conference or Workshop Item |
|---|---|
| Erschienen: | 2010 |
| Creators: | Kohlstedt, Anika ; Schlaak, Helmut F. |
| Type of entry: | Bibliographie |
| Title: | Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial |
| Language: | German |
| Date: | 10 May 2010 |
| Event Title: | 2. GMM Workshop - Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik |
| Event Location: | Darmstadt |
| Event Dates: | 10.05.2010-10.05.2010 |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018) 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems |
| Date Deposited: | 04 Nov 2010 14:30 |
| Last Modified: | 19 Apr 2016 08:25 |
| PPN: | |
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- Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial. (deposited 04 Nov 2010 14:30) [Currently Displayed]
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