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Langzeituntersuchungen zur Eignung von SU-8 als Konstruktionswerkstoff.

Kohlstedt, Anika ; Staab, Matthias ; Schlaak, Helmut F. (2009)
Langzeituntersuchungen zur Eignung von SU-8 als Konstruktionswerkstoff.
Proceedings Mikrosystemtechnik Kongress 2009. Berlin (12.–14. Oktober 2009)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2009
Creators: Kohlstedt, Anika ; Staab, Matthias ; Schlaak, Helmut F.
Type of entry: Bibliographie
Title: Langzeituntersuchungen zur Eignung von SU-8 als Konstruktionswerkstoff.
Language: German
Date: 12 October 2009
Event Title: Proceedings Mikrosystemtechnik Kongress 2009
Event Location: Berlin
Event Dates: 12.–14. Oktober 2009
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 27 Aug 2010 13:45
Last Modified: 19 Apr 2016 08:20
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