Schmidt, J. ; Töpfer, U. ; Ballas, Ruediger ; Schlaak, Helmut F. ; Munz, G. ; Maichl, M. ; Münzenmaier, A. (2003)
Piezoelectric beam multilayer actuator with an integrated capacitive strain sensor to detect deflection.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2003 |
| Autor(en): | Schmidt, J. ; Töpfer, U. ; Ballas, Ruediger ; Schlaak, Helmut F. ; Munz, G. ; Maichl, M. ; Münzenmaier, A. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Piezoelectric beam multilayer actuator with an integrated capacitive strain sensor to detect deflection |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 2003 |
| Ort: | Wunstorf |
| Verlag: | AMA Service Ges. |
| Reihe: | SENSOR 2003 : 11th international conference ; 13 - 15 May 2003, Exhibition Centre Nuremberg, Germany ; proceedings / an event of the Association for Sensor Technology, AMA.- Wunstorf : AMA Service Ges., 2003.- S. 279-286 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:22 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 07:50 |
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