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Spiehl, Dieter ; Häming, Marc ; Dilfer, Stefan ; Dörsam, Edgar ; Hoffmann, Rudolf C. ; Bonrad, Klaus ; Kirsch, Peer :
Verfahren zur Herstellung funktionaler Schichten.
[Online-Edition: https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=bibd...]

[Norm, Patent, Standard], (2015)

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