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Thielemann, Christiane ; Hess, G. ; Grabe, M. ; Glitz, J. (1996)
Ein-Chip Silizium Kondensator-Mikrophon.
8. Fachtagung Sensoren und Meßsysteme. Bad Nauheim (11.03.1996-13.03.1996)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

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