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Interferometrical profilometry at surfaces with varying materials

Jennewein, Holger ; Gottschling, H. ; Ganz, T. ; Tschudi, Theo :
Interferometrical profilometry at surfaces with varying materials.
In: SPIE (Society for Photo-Optical Instrumentation Engineers) Proceedings , 3677 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1999)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1999
Autor(en): Jennewein, Holger ; Gottschling, H. ; Ganz, T. ; Tschudi, Theo
Titel: Interferometrical profilometry at surfaces with varying materials
Sprache: Deutsch
Reihe: SPIE (Society for Photo-Optical Instrumentation Engineers) Proceedings
Band: 3677
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Physik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:05
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