Jennewein, Holger ; Gottschling, H. ; Ganz, T. ; Tschudi, Theo (1999)
Interferometrical profilometry at surfaces with varying materials.
In: SPIE (Society for Photo-Optical Instrumentation Engineers) Proceedings
Buchkapitel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Buchkapitel |
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Erschienen: | 1999 |
Autor(en): | Jennewein, Holger ; Gottschling, H. ; Ganz, T. ; Tschudi, Theo |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Interferometrical profilometry at surfaces with varying materials |
Sprache: | Deutsch |
Publikationsjahr: | 1999 |
Buchtitel: | SPIE (Society for Photo-Optical Instrumentation Engineers) Proceedings |
Reihe: | SPIE (Society for Photo-Optical Instrumentation Engineers) Proceedings |
Band einer Reihe: | 3677 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 05 Fachbereich Physik |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:05 |
Letzte Änderung: | 24 Sep 2024 09:02 |
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