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Interferometrical profilometry at surfaces with varying materials

Jennewein, Holger ; Gottschling, H. ; Ganz, T. ; Tschudi, Theo (1999)
Interferometrical profilometry at surfaces with varying materials.
In: SPIE (Society for Photo-Optical Instrumentation Engineers) Proceedings
Buchkapitel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Buchkapitel
Erschienen: 1999
Autor(en): Jennewein, Holger ; Gottschling, H. ; Ganz, T. ; Tschudi, Theo
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Interferometrical profilometry at surfaces with varying materials
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 1999
Buchtitel: SPIE (Society for Photo-Optical Instrumentation Engineers) Proceedings
Reihe: SPIE (Society for Photo-Optical Instrumentation Engineers) Proceedings
Band einer Reihe: 3677
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 05 Fachbereich Physik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:05
Letzte Änderung: 24 Sep 2024 09:02
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