Lal, K. ; Goswami, N. ; Miao, J. ; Hartnagel, H. L. (1999)
High-resolution X-ray diffraction study of free-standing gallium arsenide coiled membrane force sensors produced by micromachining.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
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Erschienen: | 1999 |
Autor(en): | Lal, K. ; Goswami, N. ; Miao, J. ; Hartnagel, H. L. |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | High-resolution X-ray diffraction study of free-standing gallium arsenide coiled membrane force sensors produced by micromachining |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 1999 |
Reihe: | Indo-Russian Workshop on Micromechanical Systems = SPIE Proceedings. Vol. 3903 (1999) |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:05 |
Letzte Änderung: | 14 Feb 2019 10:47 |
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