Lal, K. ; Goswami, N. ; Miao, J. ; Hartnagel, H. L. (1999)
High-resolution X-ray diffraction study of free-standing gallium arsenide coiled membrane force sensors produced by micromachining.
In: Indo-Russian Workshop on Micromechanical Systems
Buchkapitel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Buchkapitel |
|---|---|
| Erschienen: | 1999 |
| Autor(en): | Lal, K. ; Goswami, N. ; Miao, J. ; Hartnagel, H. L. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | High-resolution X-ray diffraction study of free-standing gallium arsenide coiled membrane force sensors produced by micromachining |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1999 |
| Buchtitel: | Indo-Russian Workshop on Micromechanical Systems |
| Reihe: | SPIE Proceedings |
| Band einer Reihe: | 3903 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:05 |
| Letzte Änderung: | 24 Sep 2024 09:27 |
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