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Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission

Bieker, Johannes and Roustaie, Farough and Langer, Christoph and Schreiner, Rupert and Schlaak, Helmut F.
Johannes Bieker, Farough Roustaie, Christoph Langer, Rupert Schreiner, Helmut F. Schlaak (Corporate Creators) (2017):
Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission.
In: Proceedings - Mikrosystemtechnik Kongress 2017, In: MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, Unterschleißheim, Deutschland, 23.-25. Oktober 2017, [Conference or Workshop Item]

Abstract

In den letzten Jahren wurde am Institut für Elektromechanische Konstruktionen die Fabrikation und Integration von metallischen Nanodrähten und Nanokonen mittels Template-basierter Abscheidung erforscht. Diese Variante der in-situ Abscheidung von metallischen Nanostrukturen bietet eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten. Im Rahmen dieses Beitrags werden das Herstellungsverfahren zur Herstellung metallischer Nanokonen vorgestellt. Dies beinhaltet sowohl die Templatepräparation mittels asymmetrischen Ätzens als auch die anschließende Integration mittels galvanischer Abscheidung. Eine Anwendung der metallischen Nanokonen stellt die Verwendung als Feldemitter in der Vakuumelektronikdar. Es werden erste Messungen der Langzeitstabilität des Feldemissionsstromes der metallischen Konen präsentiert.

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2017
Creators: Bieker, Johannes and Roustaie, Farough and Langer, Christoph and Schreiner, Rupert and Schlaak, Helmut F.
Title: Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission
Language: German
Abstract:

In den letzten Jahren wurde am Institut für Elektromechanische Konstruktionen die Fabrikation und Integration von metallischen Nanodrähten und Nanokonen mittels Template-basierter Abscheidung erforscht. Diese Variante der in-situ Abscheidung von metallischen Nanostrukturen bietet eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten. Im Rahmen dieses Beitrags werden das Herstellungsverfahren zur Herstellung metallischer Nanokonen vorgestellt. Dies beinhaltet sowohl die Templatepräparation mittels asymmetrischen Ätzens als auch die anschließende Integration mittels galvanischer Abscheidung. Eine Anwendung der metallischen Nanokonen stellt die Verwendung als Feldemitter in der Vakuumelektronikdar. Es werden erste Messungen der Langzeitstabilität des Feldemissionsstromes der metallischen Konen präsentiert.

Title of Book: Proceedings - Mikrosystemtechnik Kongress 2017
Uncontrolled Keywords: Feldemission, Nanokonen, Mikro-Nano-Technologie
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
Event Title: MikroSystemTechnik Kongress 2017
Event Location: München, Unterschleißheim, Deutschland
Event Dates: 23.-25. Oktober 2017
Date Deposited: 06 Nov 2017 23:13
Identification Number: ISBN 978-3-8007-4491-6
Alternative keywords:
Alternative keywordsLanguage
Field emission, nanocones, micro-nano-technologyEnglish
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