Bieker, Johannes ; Roustaie, Farough ; Langer, Christoph ; Schreiner, Rupert ; Schlaak, Helmut F.
Hrsg.: Johannes Bieker, Farough Roustaie, Christoph Langer, Rupert Schreiner, Helmut F. Schlaak (2017)
Innovatives Verfahren zur Herstellung
und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission.
MikroSystemTechnik Kongress 2017. München, Unterschleißheim, Deutschland (23.-25. Oktober 2017)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
In den letzten Jahren wurde am Institut für Elektromechanische Konstruktionen die Fabrikation und Integration von metallischen Nanodrähten und Nanokonen mittels Template-basierter Abscheidung erforscht. Diese Variante der in-situ Abscheidung von metallischen Nanostrukturen bietet eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten. Im Rahmen dieses Beitrags werden das Herstellungsverfahren zur Herstellung metallischer Nanokonen vorgestellt. Dies beinhaltet sowohl die Templatepräparation mittels asymmetrischen Ätzens als auch die anschließende Integration mittels galvanischer Abscheidung. Eine Anwendung der metallischen Nanokonen stellt die Verwendung als Feldemitter in der Vakuumelektronikdar. Es werden erste Messungen der Langzeitstabilität des Feldemissionsstromes der metallischen Konen präsentiert.
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Erschienen: | 2017 | ||||
| Autor(en): | Bieker, Johannes ; Roustaie, Farough ; Langer, Christoph ; Schreiner, Rupert ; Schlaak, Helmut F. | ||||
| Art des Eintrags: | Bibliographie | ||||
| Titel: | Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission | ||||
| Sprache: | Deutsch | ||||
| Publikationsjahr: | 23 Oktober 2017 | ||||
| Ort: | München | ||||
| Buchtitel: | Proceedings - Mikrosystemtechnik Kongress 2017 | ||||
| Veranstaltungstitel: | MikroSystemTechnik Kongress 2017 | ||||
| Veranstaltungsort: | München, Unterschleißheim, Deutschland | ||||
| Veranstaltungsdatum: | 23.-25. Oktober 2017 | ||||
| Kurzbeschreibung (Abstract): | In den letzten Jahren wurde am Institut für Elektromechanische Konstruktionen die Fabrikation und Integration von metallischen Nanodrähten und Nanokonen mittels Template-basierter Abscheidung erforscht. Diese Variante der in-situ Abscheidung von metallischen Nanostrukturen bietet eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten. Im Rahmen dieses Beitrags werden das Herstellungsverfahren zur Herstellung metallischer Nanokonen vorgestellt. Dies beinhaltet sowohl die Templatepräparation mittels asymmetrischen Ätzens als auch die anschließende Integration mittels galvanischer Abscheidung. Eine Anwendung der metallischen Nanokonen stellt die Verwendung als Feldemitter in der Vakuumelektronikdar. Es werden erste Messungen der Langzeitstabilität des Feldemissionsstromes der metallischen Konen präsentiert. |
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| Freie Schlagworte: | Feldemission, Nanokonen, Mikro-Nano-Technologie | ||||
| Schlagworte: |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
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| Hinterlegungsdatum: | 06 Nov 2017 23:13 | ||||
| Letzte Änderung: | 26 Jan 2024 10:24 | ||||
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