Nakic, Christian ; Schlaak, Helmut F. (2017)
Motion analyzer for characterization of micro actuators with movements in 3 degrees of freedom.
Mikrosystemtechnikkongress 2017. München, Unterschleißheim, Deutschland (23.10.2017-25.10.2017)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
This work presents a novel measurement device for the deflection and temperature distribution of polymer electrothermal actuators. Combining a CCD camera with optical pattern matching and a laser triangulation measurement system the motion analyzer enables the characterization of movements in three degrees of freedom in a measurement range of 4.5 mm x 4.5 mm x 4 mm. Occurring optical errors, measurement accuracies and dynamic limits of the motion analyzer are determined.
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
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Erschienen: | 2017 |
Autor(en): | Nakic, Christian ; Schlaak, Helmut F. |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Motion analyzer for characterization of micro actuators with movements in 3 degrees of freedom |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 23 Oktober 2017 |
Ort: | München |
Buchtitel: | Proceedings - Mikrosystemtechnik Kongress 2017 |
Veranstaltungstitel: | Mikrosystemtechnikkongress 2017 |
Veranstaltungsort: | München, Unterschleißheim, Deutschland |
Veranstaltungsdatum: | 23.10.2017-25.10.2017 |
Kurzbeschreibung (Abstract): | This work presents a novel measurement device for the deflection and temperature distribution of polymer electrothermal actuators. Combining a CCD camera with optical pattern matching and a laser triangulation measurement system the motion analyzer enables the characterization of movements in three degrees of freedom in a measurement range of 4.5 mm x 4.5 mm x 4 mm. Occurring optical errors, measurement accuracies and dynamic limits of the motion analyzer are determined. |
Freie Schlagworte: | measurement setup, electrothermal actuator, out-of-plane actuator, 3 DOF |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
Hinterlegungsdatum: | 06 Nov 2017 12:54 |
Letzte Änderung: | 26 Jan 2024 10:23 |
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