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Motion analyzer for characterization of micro actuators with movements in 3 degrees of freedom

Nakic, Christian ; Schlaak, Helmut F. (2017)
Motion analyzer for characterization of micro actuators with movements in 3 degrees of freedom.
Mikrosystemtechnikkongress 2017. München, Unterschleißheim, Deutschland (23.10.2017-25.10.2017)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Kurzbeschreibung (Abstract)

This work presents a novel measurement device for the deflection and temperature distribution of polymer electrothermal actuators. Combining a CCD camera with optical pattern matching and a laser triangulation measurement system the motion analyzer enables the characterization of movements in three degrees of freedom in a measurement range of 4.5 mm x 4.5 mm x 4 mm. Occurring optical errors, measurement accuracies and dynamic limits of the motion analyzer are determined.

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2017
Autor(en): Nakic, Christian ; Schlaak, Helmut F.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Motion analyzer for characterization of micro actuators with movements in 3 degrees of freedom
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 23 Oktober 2017
Ort: München
Buchtitel: Proceedings - Mikrosystemtechnik Kongress 2017
Veranstaltungstitel: Mikrosystemtechnikkongress 2017
Veranstaltungsort: München, Unterschleißheim, Deutschland
Veranstaltungsdatum: 23.10.2017-25.10.2017
Kurzbeschreibung (Abstract):

This work presents a novel measurement device for the deflection and temperature distribution of polymer electrothermal actuators. Combining a CCD camera with optical pattern matching and a laser triangulation measurement system the motion analyzer enables the characterization of movements in three degrees of freedom in a measurement range of 4.5 mm x 4.5 mm x 4 mm. Occurring optical errors, measurement accuracies and dynamic limits of the motion analyzer are determined.

Freie Schlagworte: measurement setup, electrothermal actuator, out-of-plane actuator, 3 DOF
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 06 Nov 2017 12:54
Letzte Änderung: 26 Jan 2024 10:23
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