Grotepaß, Tanja ; Butz, Janis ; Förster-Zügel, Florentine ; Schlaak, Helmut F. (2016)
Switchable adhesion for wafer-handling based on dielectric elastomer stack transducers.
Smart Structures / NDE. Electroactive Polymer Actuators and Devices (EAPAD) 2016. Las Vegas, US
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
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Erschienen: | 2016 |
Autor(en): | Grotepaß, Tanja ; Butz, Janis ; Förster-Zügel, Florentine ; Schlaak, Helmut F. |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Switchable adhesion for wafer-handling based on dielectric elastomer stack transducers |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | März 2016 |
Buchtitel: | Proceedings of SPIE |
Band einer Reihe: | 9798 |
Veranstaltungstitel: | Smart Structures / NDE. Electroactive Polymer Actuators and Devices (EAPAD) 2016 |
Veranstaltungsort: | Las Vegas, US |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
Hinterlegungsdatum: | 02 Mai 2016 07:46 |
Letzte Änderung: | 02 Mai 2016 07:46 |
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