TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für Mikrobauteile

Lotichius, Jan and Christmann, Eike and Asmus, Albert and Kupnik, Mario and Werthschützky, Roland (2015):
Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für Mikrobauteile.
In: Mikrosystemtechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.11.2015 - 28.11.2015, [Conference or Workshop Item]

Abstract

In dieser Arbeit wird eine Prüfkammer mit 0,25 l Volumen vorgestellt, die zwischen −10 ◦C bis 150 ◦C temperiert werden kann. Des Weiteren kann ein Druck bis zu 3 MPa oder ein Füllgas eingeleitet werden. Die Kammer wird von zwei Peltier-Elementen temperiert, von denen eines die Kammerwand und das zweite das einströmende Gas temperiert. Ein Zustandsraummodell des Aufbaus wird vorgestellt und die Ermittlung von Parameterwerten anhand der Sprungantwort exemplarisch gezeigt. Eine PI-Reglung mit proportionaler Verstärkung von 3,6 A/K und integraler Verstärkung von 5×10^−3 zeigt eine Temperaturstabilität von 0,5 K.

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2015
Creators: Lotichius, Jan and Christmann, Eike and Asmus, Albert and Kupnik, Mario and Werthschützky, Roland
Title: Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für Mikrobauteile
Language: German
Abstract:

In dieser Arbeit wird eine Prüfkammer mit 0,25 l Volumen vorgestellt, die zwischen −10 ◦C bis 150 ◦C temperiert werden kann. Des Weiteren kann ein Druck bis zu 3 MPa oder ein Füllgas eingeleitet werden. Die Kammer wird von zwei Peltier-Elementen temperiert, von denen eines die Kammerwand und das zweite das einströmende Gas temperiert. Ein Zustandsraummodell des Aufbaus wird vorgestellt und die Ermittlung von Parameterwerten anhand der Sprungantwort exemplarisch gezeigt. Eine PI-Reglung mit proportionaler Verstärkung von 3,6 A/K und integraler Verstärkung von 5×10^−3 zeigt eine Temperaturstabilität von 0,5 K.

Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
Event Title: Mikrosystemtechnik Kongress 2015
Event Location: Karlsruhe
Event Dates: 26.11.2015 - 28.11.2015
Date Deposited: 04 Nov 2015 13:41
Alternative Abstract:
Alternative abstract Language
This work presents a test chamber with 0.25 l volume, which can be tempered between −10 ◦C and 150 ◦C. It can hold a pressure up to 3 MPa. The chamber is tempered by two peltier devices, of which one tempers the chamber wall and the other the incoming gas. A state space model of the system is presented and the identification of parameters using the step response is shown. A PI controller with proportional gain of 3.6 A/K and integral gain of 5×10^−3 shows temperature stability within 0.5 K.English
Export:

Optionen (nur für Redakteure)

View Item View Item