Lotichius, Jan ; Christmann, Eike ; Asmus, Albert ; Kupnik, Mario ; Werthschützky, Roland (2015)
Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für Mikrobauteile.
Mikrosystemtechnik Kongress 2015. Karlsruhe (26.11.2015-28.11.2015)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
In dieser Arbeit wird eine Prüfkammer mit 0,25 l Volumen vorgestellt, die zwischen −10 ◦C bis 150 ◦C temperiert werden kann. Des Weiteren kann ein Druck bis zu 3 MPa oder ein Füllgas eingeleitet werden. Die Kammer wird von zwei Peltier-Elementen temperiert, von denen eines die Kammerwand und das zweite das einströmende Gas temperiert. Ein Zustandsraummodell des Aufbaus wird vorgestellt und die Ermittlung von Parameterwerten anhand der Sprungantwort exemplarisch gezeigt. Eine PI-Reglung mit proportionaler Verstärkung von 3,6 A/K und integraler Verstärkung von 5×10^−3 zeigt eine Temperaturstabilität von 0,5 K.
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung | ||||
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| Erschienen: | 2015 | ||||
| Autor(en): | Lotichius, Jan ; Christmann, Eike ; Asmus, Albert ; Kupnik, Mario ; Werthschützky, Roland | ||||
| Art des Eintrags: | Bibliographie | ||||
| Titel: | Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für Mikrobauteile | ||||
| Sprache: | Deutsch | ||||
| Publikationsjahr: | 26 Oktober 2015 | ||||
| Veranstaltungstitel: | Mikrosystemtechnik Kongress 2015 | ||||
| Veranstaltungsort: | Karlsruhe | ||||
| Veranstaltungsdatum: | 26.11.2015-28.11.2015 | ||||
| Kurzbeschreibung (Abstract): | In dieser Arbeit wird eine Prüfkammer mit 0,25 l Volumen vorgestellt, die zwischen −10 ◦C bis 150 ◦C temperiert werden kann. Des Weiteren kann ein Druck bis zu 3 MPa oder ein Füllgas eingeleitet werden. Die Kammer wird von zwei Peltier-Elementen temperiert, von denen eines die Kammerwand und das zweite das einströmende Gas temperiert. Ein Zustandsraummodell des Aufbaus wird vorgestellt und die Ermittlung von Parameterwerten anhand der Sprungantwort exemplarisch gezeigt. Eine PI-Reglung mit proportionaler Verstärkung von 3,6 A/K und integraler Verstärkung von 5×10^−3 zeigt eine Temperaturstabilität von 0,5 K. |
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| Alternatives oder übersetztes Abstract: |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik |
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| Hinterlegungsdatum: | 04 Nov 2015 13:41 | ||||
| Letzte Änderung: | 04 Nov 2015 13:41 | ||||
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