Gründl, T. ; Zogal, K. ; Debernardi, P. ; Gierl, C. ; Grasse, C. ; Geiger, K. ; Meyer, R. ; Boehm, G. ; Amann, M.-C. ; Meissner, P. ; Küppers, F. (2013)
50 nm continuously tunable MEMS VCSEL devices with surface micromachining operating at 1.95 µm emission wavelength.
In: Semiconductor Science and Technology, 28 (01)
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2013 |
| Autor(en): | Gründl, T. ; Zogal, K. ; Debernardi, P. ; Gierl, C. ; Grasse, C. ; Geiger, K. ; Meyer, R. ; Boehm, G. ; Amann, M.-C. ; Meissner, P. ; Küppers, F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | 50 nm continuously tunable MEMS VCSEL devices with surface micromachining operating at 1.95 µm emission wavelength |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2013 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Semiconductor Science and Technology |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 28 |
| (Heft-)Nummer: | 01 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Photonik und Optische Nachrichtentechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) |
| Hinterlegungsdatum: | 16 Mär 2015 16:37 |
| Letzte Änderung: | 16 Mär 2015 16:37 |
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