Bergunde, T. ; Dauelsberg, M. ; Egorov, Yu ; Kadinski, L. ; Makarov, Yu N. ; Schäfer, M. ; Strauch, G. ; Weyers, M. (1995)
Algorithms and Models for Simulation of MOCVD of III-V Layers in the Planetary Reactor.
In: Simulation of Semiconductor Devices and Processes, 6
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Bergunde, T. ; Dauelsberg, M. ; Egorov, Yu ; Kadinski, L. ; Makarov, Yu N. ; Schäfer, M. ; Strauch, G. ; Weyers, M. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Algorithms and Models for Simulation of MOCVD of III-V Layers in the Planetary Reactor |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | September 1995 |
| Verlag: | Springer |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Simulation of Semiconductor Devices and Processes |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 6 |
| Buchtitel: | Simulation of Semiconductor Devices and Processes |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 16 Fachbereich Maschinenbau > Fachgebiet für Numerische Berechnungsverfahren im Maschinenbau (FNB) 16 Fachbereich Maschinenbau |
| Hinterlegungsdatum: | 24 Mär 2014 14:26 |
| Letzte Änderung: | 22 Mär 2016 13:30 |
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