Durst, F. ; Galjukov, A. ; Makarov, Y. ; Schäfer, Michael ; Voinovich, P. ; Zhmakin, A.
Efficient 3D Unstructured Grid Algorithms for Modelling of Chemical Vapour Deposition in Horizontal Reactors.
In: Simulation of Semiconductor Devices and Processes, 6
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1996 |
| Herausgeber: | Ryssel, H. ; Pichler, P. |
| Autor(en): | Durst, F. ; Galjukov, A. ; Makarov, Y. ; Schäfer, Michael ; Voinovich, P. ; Zhmakin, A. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Efficient 3D Unstructured Grid Algorithms for Modelling of Chemical Vapour Deposition in Horizontal Reactors |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | September 1996 |
| Verlag: | Springer |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Simulation of Semiconductor Devices and Processes |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 6 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 16 Fachbereich Maschinenbau > Fachgebiet für Numerische Berechnungsverfahren im Maschinenbau (FNB) 16 Fachbereich Maschinenbau |
| Hinterlegungsdatum: | 24 Mär 2014 14:18 |
| Letzte Änderung: | 07 Apr 2014 07:08 |
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