Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. (2007)
Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8.
In: VDE/GMM-Fachbericht Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik , Bd. 53
Buchkapitel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Buchkapitel |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Autor(en): | Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8. |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 2007 |
| Buchtitel: | VDE/GMM-Fachbericht Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik , Bd. 53 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:02 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:13 |
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