Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Hottes, Martin ; Stegmann, Christian ; Schlaak, Helmut F. ; Ensinger, Wolfgang (2014)
Integration und Charakterisierung von Nanostrukturen in Mikrosysteme für sensorische Anwendungen.
Mikrosystemtechnik Kongress . Aachen (14.10.2013-16.10.2013)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
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