Lämmle, David ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. (2013)
Herstellung von robusten und kostengünstigen Nickel-Wanderkeilaktoren.
Mikrosystemtechnik Kongress 2013. Aachen (14.10.2013-16.10.2013)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2013 |
| Autor(en): | Lämmle, David ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Herstellung von robusten und kostengünstigen Nickel-Wanderkeilaktoren |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 14 Oktober 2013 |
| Veranstaltungstitel: | Mikrosystemtechnik Kongress 2013 |
| Veranstaltungsort: | Aachen |
| Veranstaltungsdatum: | 14.10.2013-16.10.2013 |
| Zugehörige Links: | |
| Freie Schlagworte: | elektrostatischer Aktor, Galvanik, Nickel, THz, |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 04 Feb 2014 10:00 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:48 |
| PPN: | |
| Projekte: | LOEWE Schwerpunktprogramm "Sensors towards Terahertz", DFG Graduiertenkolleg TICMO (GRK 1037) |
| Sponsoren: | LOEWE, DFG |
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