Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. (2007)
Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Autor(en): | Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben. |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 2007 |
| Reihe: | Proceedings Mikrosystemtechnik-Kongress 2007, 15.-17. Oktober 2007, Dresden. 2007 , S. 195-198 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:01 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:13 |
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