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Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben.

Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. :
Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben.
In: Proceedings Mikrosystemtechnik-Kongress 2007, 15.-17. Oktober 2007, Dresden. 2007 , S. 195-198 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2007)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2007
Autor(en): Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F.
Titel: Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben.
Sprache: Deutsch
Reihe: Proceedings Mikrosystemtechnik-Kongress 2007, 15.-17. Oktober 2007, Dresden. 2007 , S. 195-198
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:01
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