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Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben.

Eicher, D. and Schlaak, Helmut F. (2007):
Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben.
In: Proceedings Mikrosystemtechnik-Kongress 2007, 15.-17. Oktober 2007, Dresden. 2007 , S. 195-198, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2007
Creators: Eicher, D. and Schlaak, Helmut F.
Title: Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben.
Language: German
Series Name: Proceedings Mikrosystemtechnik-Kongress 2007, 15.-17. Oktober 2007, Dresden. 2007 , S. 195-198
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:01
License: [undefiniert]
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