Miao, Jianmin ; Rück, D. M. ; Tinschert, K. ; Hartnagel, Hans L. (1995)
Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung. Darmstadt (1995)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Miao, Jianmin ; Rück, D. M. ; Tinschert, K. ; Hartnagel, Hans L. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Ort: | Darmstadt |
| Buchtitel: | Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung : proceedings |
| Veranstaltungstitel: | Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung |
| Veranstaltungsort: | Darmstadt |
| Veranstaltungsdatum: | 1995 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:01 |
| Letzte Änderung: | 12 Aug 2024 08:15 |
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