Ensinger, Wolfgang ; Flege, Stefan ; Hatada, Ruriko ; Ayata, Sevda ; Matsutani, Takaomi ; Baba, Koumei (2013)
Hermetic Protection of Rings by Ion Beam Sputter Coating with a Broad Beam Ion Source and a W-Shaped Hollow Sputter Target.
In: Transactions of the Materials Research Society of Japan, 38 (1)
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2013 |
| Autor(en): | Ensinger, Wolfgang ; Flege, Stefan ; Hatada, Ruriko ; Ayata, Sevda ; Matsutani, Takaomi ; Baba, Koumei |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Hermetic Protection of Rings by Ion Beam Sputter Coating with a Broad Beam Ion Source and a W-Shaped Hollow Sputter Target |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2013 |
| Verlag: | The Materials Research Society of Japan |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Transactions of the Materials Research Society of Japan |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 38 |
| (Heft-)Nummer: | 1 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften |
| Hinterlegungsdatum: | 15 Mai 2013 07:52 |
| Letzte Änderung: | 15 Mai 2013 07:52 |
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