Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. (2012)
Intrinsische Schichtspannungen in galvanisch abgeschiedenem Nickel für elektrostatische Mikroaktoren.
In: Galvanotechnik, 103 (12)
Artikel, Bibliographie
URL / URN: http://www.galvanotechnik.com
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2012 |
| Autor(en): | Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Intrinsische Schichtspannungen in galvanisch abgeschiedenem Nickel für elektrostatische Mikroaktoren |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | Dezember 2012 |
| Verlag: | Eugen G. Leuze |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Galvanotechnik |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 103 |
| (Heft-)Nummer: | 12 |
| URL / URN: | http://www.galvanotechnik.com |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 14 Jan 2013 09:14 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:43 |
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