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Mikrospiegelbauteil, Mikrospiegelvorrichtung mit wenigstens einem Mikrospiegelbauteil sowie Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegelbauteils

Greiner, Paul Felix and Schlaak, Helmut F. and Quednau, Sebastian and Staab, Matthias Armin (2011):
Mikrospiegelbauteil, Mikrospiegelvorrichtung mit wenigstens einem Mikrospiegelbauteil sowie Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegelbauteils.
[Standards, patents]

Item Type: Standards, patents
Erschienen: 2011
Creators: Greiner, Paul Felix and Schlaak, Helmut F. and Quednau, Sebastian and Staab, Matthias Armin
Title: Mikrospiegelbauteil, Mikrospiegelvorrichtung mit wenigstens einem Mikrospiegelbauteil sowie Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegelbauteils
Language: German
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 02 Jan 2013 08:44
Identification Number: DE102011104843 (A1)
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