TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Mikrospiegelbauteil, Mikrospiegelvorrichtung mit wenigstens einem Mikrospiegelbauteil sowie Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegelbauteils

Greiner, Paul Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Quednau, Sebastian ; Staab, Matthias Armin :
Mikrospiegelbauteil, Mikrospiegelvorrichtung mit wenigstens einem Mikrospiegelbauteil sowie Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegelbauteils.
DE102011104843 (A1).
[Patent], (2011)

Typ des Eintrags: Patent
Erschienen: 2011
Autor(en): Greiner, Paul Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Quednau, Sebastian ; Staab, Matthias Armin
Titel: Mikrospiegelbauteil, Mikrospiegelvorrichtung mit wenigstens einem Mikrospiegelbauteil sowie Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegelbauteils
Sprache: Deutsch
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 02 Jan 2013 08:44
ID-Nummer: DE102011104843 (A1)
Verwandte URLs:
Export:

Optionen (nur für Redakteure)

Eintrag anzeigen Eintrag anzeigen