Greiner, Paul Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Quednau, Sebastian ; Staab, Matthias Armin (2011)
Mikrospiegelbauteil, Mikrospiegelvorrichtung mit wenigstens einem Mikrospiegelbauteil sowie Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegelbauteils.
Norm, Patent, Standard, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Norm, Patent, Standard |
|---|---|
| Erschienen: | 2011 |
| Autor(en): | Greiner, Paul Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Quednau, Sebastian ; Staab, Matthias Armin |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Mikrospiegelbauteil, Mikrospiegelvorrichtung mit wenigstens einem Mikrospiegelbauteil sowie Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegelbauteils |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 8 November 2011 |
| Patent-Nummer: | DE 102011104843 (A1) |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 02 Jan 2013 08:44 |
| Letzte Änderung: | 14 Dez 2020 08:28 |
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