Quednau, Sebastian ; Schlaak, Helmut F. ; Stegmann, Christian ; Ensinger, Wolfgang (2012)
3-Dimensionale Mikro-Nano-Integration für die Gasflusssensorik.
Berlin
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2012 |
| Autor(en): | Quednau, Sebastian ; Schlaak, Helmut F. ; Stegmann, Christian ; Ensinger, Wolfgang |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | 3-Dimensionale Mikro-Nano-Integration für die Gasflusssensorik |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 18 Juni 2012 |
| Reihe: | Öffentliches Status-/Abschlussmeeting für die Projekte aus den Bekanntmachungen "Mikro-Nano-Integration als Schlüsseltechnologie für die nächste Generation von Sensoren und Aktoren" und "Magnetische Mikro- und Nanotechnologien" |
| Veranstaltungsort: | Berlin |
| URL / URN: | http://www.vdivde-it.de/anmeldung/mni-mag-2012/vortraege |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 02 Aug 2012 12:42 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:39 |
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