Dassinger, Florian and Kohlstedt, Anika and Fritzsch, Carsten and Jakoby, Rolf and Schlaak, Helmut F. (2011):
Steuerbares MEMS-Irisfilter für W-Band Hohlleiteranwendungen.
In: MikroSystemTechnik Kongress 2011, [Conference or Workshop Item]
Abstract
In dieser Arbeit wird das Konzept eines steuerbaren MEMS-Irisfilters für W-Band Hohlleiteranwendungen vorgestellt. Die Steuerbarkeit wird durch zwei Blenden realisiert, die in den Hohlleiter bewegt werden können. Ihre Aktuierung er-folgt durch zwei elektrothermische Kniehebelaktoren. Beheizt werden die Aktoren von darunterliegenden galvanisch hergestellten Widerstandsheizern aus Nickel. Die Position der Blenden wird über eine thermische Lageregelung einge-stellt. Ermöglicht wird dieses Konzept durch einen optimierten SU-8 Dickschichtprozess, mit welchem Strukturhöhen von bis zu 1,27 mm erreicht werden können. Die Mittenfrequenz des resultierenden Bandpassfilters kann bei einer ma-ximalen Blendenverschiebung von 200 µm zwischen 94 GHz und 108 GHz eingestellt werden. Das Filterkonzept wird im Hinblick auf die Realisierung eines ersten Demonstrators optimiert. Der Fertigungsprozess sowie die Integration in einen Standard WR10-Hohlleiter wird vorgestellt.
| Item Type: | Conference or Workshop Item | ||||
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| Erschienen: | 2011 | ||||
| Creators: | Dassinger, Florian and Kohlstedt, Anika and Fritzsch, Carsten and Jakoby, Rolf and Schlaak, Helmut F. | ||||
| Title: | Steuerbares MEMS-Irisfilter für W-Band Hohlleiteranwendungen | ||||
| Language: | German | ||||
| Abstract: | In dieser Arbeit wird das Konzept eines steuerbaren MEMS-Irisfilters für W-Band Hohlleiteranwendungen vorgestellt. Die Steuerbarkeit wird durch zwei Blenden realisiert, die in den Hohlleiter bewegt werden können. Ihre Aktuierung er-folgt durch zwei elektrothermische Kniehebelaktoren. Beheizt werden die Aktoren von darunterliegenden galvanisch hergestellten Widerstandsheizern aus Nickel. Die Position der Blenden wird über eine thermische Lageregelung einge-stellt. Ermöglicht wird dieses Konzept durch einen optimierten SU-8 Dickschichtprozess, mit welchem Strukturhöhen von bis zu 1,27 mm erreicht werden können. Die Mittenfrequenz des resultierenden Bandpassfilters kann bei einer ma-ximalen Blendenverschiebung von 200 µm zwischen 94 GHz und 108 GHz eingestellt werden. Das Filterkonzept wird im Hinblick auf die Realisierung eines ersten Demonstrators optimiert. Der Fertigungsprozess sowie die Integration in einen Standard WR10-Hohlleiter wird vorgestellt. |
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| Title of Book: | MikroSystemTechnik Kongress 2011 | ||||
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Microwave Engineering and Photonics > Microwave Engineering 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Microwave Engineering and Photonics |
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| Date Deposited: | 14 Mar 2012 13:12 | ||||
| Alternative Abstract: |
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