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Optimierung und Charakterisierung eines Mikrodraht-basierten UV-LiG-MEMS für die Inertialsensorik

Yang, Yu (2011):
Optimierung und Charakterisierung eines Mikrodraht-basierten UV-LiG-MEMS für die Inertialsensorik.
Institut EMK / FG M+EMS, [Diploma Thesis or Magisterarbeit]

Abstract

Senkrecht auf einem Substrat galvanisch abgeschiedene metallische Mikrodrähte mit symmetrischen freitragend aufgehängten Metallblöcken an der Oberseite stellen interessante Feder-Masse-Systeme dar: Die Drähte haben Federeigenschaften, die Überwachsungen konzentrieren stoffschlüssig träge Massen an den freien Enden der Drähte. Mit diesen Strukturen können Inertialsensoren in neuartiger Anordnung realisiert werden. In dieser Arbeit ist ein Konzept auf Basis eines mehrschichtigen UV-LiG-Prozesses zur Realisierung eines Inertialsensordemonstrators zu analysieren, sowohl bezüglich analytischer Beschreibung der elektromechanischen Funktion als auch in Bezug auf den praktisch-technologischen Lösungsansatz. Daraus folgend sind die Funktion und der Fertigungsaufwand in Relation zu setzen und mit in der Literatur beschriebenen Verfahren zu vergleichen, um Optimierungspotential aufzudecken. Der Schwerpunkt der Arbeit liegt auf der praktischen Realisierung eines optimierten Konzepts. Dafür stehen die im Mikrotechniklabor des Institut EMK genutzten Prozesse Dünn- und Dickschicht-UV-Lithographie, PVD, Galvanoformung sowie Plasmaveraschung zur Verfügung. Sie sind sinnvoll zu kombinieren, um Opferschichten und metallische, bewegliche, freitragende Strukturen mit definierten elektromechanischen Eigenschaften zu realisieren. Die Planung der praktischen Umsetzung ist ebenso Teil der Aufgabe wie die Durchführung selbst. Die gefertigten Technologiedemonstratoren sind bezüglich ihrer elektromechanischen Funktion messtechnisch zu untersuchen. Gegebenenfalls sind hierzu im Fertigungs- und Funktionsumfang reduzierte Labormuster zu erstellen.

Item Type: Diploma Thesis or Magisterarbeit
Erschienen: 2011
Creators: Yang, Yu
Title: Optimierung und Charakterisierung eines Mikrodraht-basierten UV-LiG-MEMS für die Inertialsensorik
Language: German
Abstract:

Senkrecht auf einem Substrat galvanisch abgeschiedene metallische Mikrodrähte mit symmetrischen freitragend aufgehängten Metallblöcken an der Oberseite stellen interessante Feder-Masse-Systeme dar: Die Drähte haben Federeigenschaften, die Überwachsungen konzentrieren stoffschlüssig träge Massen an den freien Enden der Drähte. Mit diesen Strukturen können Inertialsensoren in neuartiger Anordnung realisiert werden. In dieser Arbeit ist ein Konzept auf Basis eines mehrschichtigen UV-LiG-Prozesses zur Realisierung eines Inertialsensordemonstrators zu analysieren, sowohl bezüglich analytischer Beschreibung der elektromechanischen Funktion als auch in Bezug auf den praktisch-technologischen Lösungsansatz. Daraus folgend sind die Funktion und der Fertigungsaufwand in Relation zu setzen und mit in der Literatur beschriebenen Verfahren zu vergleichen, um Optimierungspotential aufzudecken. Der Schwerpunkt der Arbeit liegt auf der praktischen Realisierung eines optimierten Konzepts. Dafür stehen die im Mikrotechniklabor des Institut EMK genutzten Prozesse Dünn- und Dickschicht-UV-Lithographie, PVD, Galvanoformung sowie Plasmaveraschung zur Verfügung. Sie sind sinnvoll zu kombinieren, um Opferschichten und metallische, bewegliche, freitragende Strukturen mit definierten elektromechanischen Eigenschaften zu realisieren. Die Planung der praktischen Umsetzung ist ebenso Teil der Aufgabe wie die Durchführung selbst. Die gefertigten Technologiedemonstratoren sind bezüglich ihrer elektromechanischen Funktion messtechnisch zu untersuchen. Gegebenenfalls sind hierzu im Fertigungs- und Funktionsumfang reduzierte Labormuster zu erstellen.

Uncontrolled Keywords: Mikro- und Feinwerktechnik elektromechanische Konstruktionen
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 09 Jan 2012 13:37
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate

Bibliotheks-Siegel: 17/24 EMKX 1775D

Art der Arbeit: Diplomarbeit

Beginn Datum: 02-05-2011

Ende Datum: 16-11-2011

Querverweis: 17/25 EMK1741D

Identification Number: 17/24 EMKD1775
Referees: Schlaak, Prof. Dr. Helmut F.
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