El Khoury, Mario (2011)
Mikro-Galvanoformung mit heterogenem Aspektverhältnis für Inertialsensoren.
Technische Universität Darmstadt
Bachelorarbeit, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
Diese Arbeit vergleicht das Umkehrpuls-Abscheidung mit aspektverhältnisabhängigen Parametern Verfahren mit dem Gleichstrom-Abscheidungs Verfahren bei einem heterogenen Aspektverhältnis. Die Option Separate Abscheidung von Bereichen mit hohem und geringem Aspektverhältnis ist mit dem Gleichstrom- und Umkehrpuls-Verfahren kombiniert und durchgeführt worden. Innerhalb der Strukturen mit hohem Aspektverhältnis, weist das Umkehrpuls-Verfahren eine höhere Abscheiderate im Vergleich zum Gleichstrom-Verfahren auf. Die Erhöhung der negativen und positiven Stromdichten von J1 = 10 und J2 =
| Typ des Eintrags: | Bachelorarbeit |
|---|---|
| Erschienen: | 2011 |
| Autor(en): | El Khoury, Mario |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Mikro-Galvanoformung mit heterogenem Aspektverhältnis für Inertialsensoren |
| Sprache: | Deutsch |
| Referenten: | Schlaak, Prof. Dr. Helmut F. |
| Publikationsjahr: | 2 September 2011 |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Diese Arbeit vergleicht das Umkehrpuls-Abscheidung mit aspektverhältnisabhängigen Parametern Verfahren mit dem Gleichstrom-Abscheidungs Verfahren bei einem heterogenen Aspektverhältnis. Die Option Separate Abscheidung von Bereichen mit hohem und geringem Aspektverhältnis ist mit dem Gleichstrom- und Umkehrpuls-Verfahren kombiniert und durchgeführt worden. Innerhalb der Strukturen mit hohem Aspektverhältnis, weist das Umkehrpuls-Verfahren eine höhere Abscheiderate im Vergleich zum Gleichstrom-Verfahren auf. Die Erhöhung der negativen und positiven Stromdichten von J1 = 10 und J2 = |
| Freie Schlagworte: | Mikro- und Feinwerktechnik Elektromechanische Konstruktionen |
| ID-Nummer: | 17/24 EMKB1774 |
| Zusätzliche Informationen: | EMK-spezifische Daten: Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate, Bibliotheks-Siegel: 17/24 EMKB 1774 Art der Arbeit: Bachelorarbeit Beginn Datum: 02-05-2011 Ende Datum: 02-09-2011 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 09 Jan 2012 13:37 |
| Letzte Änderung: | 21 Okt 2016 12:28 |
| PPN: | |
| Referenten: | Schlaak, Prof. Dr. Helmut F. |
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