Schlaak, Helmut F. ; Werthschützky, Roland ; Eicher, D. ; Röse, Andreas ; Rausch, Jacqueline ; Stöhr, Ingmar (2007)
Im Kleinen ganz groß : mikroelektromechanische Systeme.
In: thema Forschung. Technische Universität Darmstadt, 12
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Autor(en): | Schlaak, Helmut F. ; Werthschützky, Roland ; Eicher, D. ; Röse, Andreas ; Rausch, Jacqueline ; Stöhr, Ingmar |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Im Kleinen ganz groß : mikroelektromechanische Systeme |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 2007 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | thema Forschung. Technische Universität Darmstadt |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 12 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:01 |
| Letzte Änderung: | 03 Jan 2021 16:08 |
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