Heinickel, Patrick ; Werthschützky, Roland ; Hummel, Wolf-Joachim (2011)
Optimized electrical feed through for a piezoresistive silicon high-pressure sensing element up to 500 MPa.
Sensor+Test Conference 2011.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
---|---|
Erschienen: | 2011 |
Autor(en): | Heinickel, Patrick ; Werthschützky, Roland ; Hummel, Wolf-Joachim |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Optimized electrical feed through for a piezoresistive silicon high-pressure sensing element up to 500 MPa |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 7 Juni 2011 |
Ort: | Nürnberg |
Buchtitel: | Sensor+Test Conference 2011. Proceedings Sensor, Volume I. |
Veranstaltungstitel: | Sensor+Test Conference 2011 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik |
Hinterlegungsdatum: | 26 Sep 2011 12:36 |
Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:54 |
PPN: | |
Export: | |
Suche nach Titel in: | TUfind oder in Google |
Frage zum Eintrag |
Optionen (nur für Redakteure)
Redaktionelle Details anzeigen |