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Optimized electrical feed through for a piezoresistive silicon high-pressure sensing element up to 500 MPa

Heinickel, Patrick ; Werthschützky, Roland ; Hummel, Wolf-Joachim (2011)
Optimized electrical feed through for a piezoresistive silicon high-pressure sensing element up to 500 MPa.
Sensor+Test Conference 2011.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2011
Autor(en): Heinickel, Patrick ; Werthschützky, Roland ; Hummel, Wolf-Joachim
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Optimized electrical feed through for a piezoresistive silicon high-pressure sensing element up to 500 MPa
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 7 Juni 2011
Ort: Nürnberg
Buchtitel: Sensor+Test Conference 2011. Proceedings Sensor, Volume I.
Veranstaltungstitel: Sensor+Test Conference 2011
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
Hinterlegungsdatum: 26 Sep 2011 12:36
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 09:54
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