Matysek, Marc (2003)
Messtechnische Charakterisierung elektrostatischer Aktoren mit elastischem Dieelektrikum.
Technische Universität Darmstadt
Diplom- oder Magisterarbeit, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
Zusammenfassung:
Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit der messtechnischen Charakterisierung von elektrostatischen Aktoren mit elastischem Dielektrikum, die als Stapelaktoren hergestellt werden.
Der bestehende Messplatz wurde durch entsprechende zusätzliche Messgeräte erweitert. Ein Schwerpunkt bildete dabei die Anbindung dieser Messgeräte an den PC, der sowohl Steuerungs- und Initialisierungsvorgänge übernimmt, als auch der Sicherung der Messwerte (Messwerterfassung) dient.
Zur Beschreibung des Aktors und dem Vergleich mit Modellen werden sowohl die Materialkennwerte als auch das tatsächliche Aktorverhalten untersucht.
Die Materialeigenschaften werden durch das verwendete Silikon bestimmt, es werden das E-Modul und die mechanische Impedanz ermittelt.
Zur Beschreibung des aktiven Verhaltens der Aktoren werden folgende Messungen eingerichtet:
- Auslenkung in Abh. von der elektr. Spannung
- Auslenkung in Abh. von der Frequenz der elektr. Spannung
Mit Hilfe der gemessenen Werte wird ein Modellvergleich durchgeführt, der eine gute Übereinstimmung ergibt.
Weiterhin werden die Flächenwiderstände der Elektroden für unterschiedliche Elektrodenmaterialien bei unterschiedlichen mechanischen Vorspannungen ermittelt.
Durch die Steuerung eines optischen Entfernungsmessgerätes und einer x-y-Tisch Verschiebe-Einheit können Höhenkarten mit einer maximalen Höhe von 1mm (Auflösung ca. 1/10 µm) erstellt werden.
| Typ des Eintrags: | Diplom- oder Magisterarbeit |
|---|---|
| Erschienen: | 2003 |
| Autor(en): | Matysek, Marc |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Messtechnische Charakterisierung elektrostatischer Aktoren mit elastischem Dieelektrikum |
| Sprache: | Deutsch |
| Referenten: | Jungmann, Dipl.-Ing. Markus ; Schlaak, Prof. Dr.- Helmut Friedrich |
| Publikationsjahr: | 30 September 2003 |
| Zugehörige Links: | |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Zusammenfassung: Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit der messtechnischen Charakterisierung von elektrostatischen Aktoren mit elastischem Dielektrikum, die als Stapelaktoren hergestellt werden. Der bestehende Messplatz wurde durch entsprechende zusätzliche Messgeräte erweitert. Ein Schwerpunkt bildete dabei die Anbindung dieser Messgeräte an den PC, der sowohl Steuerungs- und Initialisierungsvorgänge übernimmt, als auch der Sicherung der Messwerte (Messwerterfassung) dient. Zur Beschreibung des Aktors und dem Vergleich mit Modellen werden sowohl die Materialkennwerte als auch das tatsächliche Aktorverhalten untersucht. Die Materialeigenschaften werden durch das verwendete Silikon bestimmt, es werden das E-Modul und die mechanische Impedanz ermittelt. Zur Beschreibung des aktiven Verhaltens der Aktoren werden folgende Messungen eingerichtet: - Auslenkung in Abh. von der elektr. Spannung - Auslenkung in Abh. von der Frequenz der elektr. Spannung Mit Hilfe der gemessenen Werte wird ein Modellvergleich durchgeführt, der eine gute Übereinstimmung ergibt. Weiterhin werden die Flächenwiderstände der Elektroden für unterschiedliche Elektrodenmaterialien bei unterschiedlichen mechanischen Vorspannungen ermittelt. Durch die Steuerung eines optischen Entfernungsmessgerätes und einer x-y-Tisch Verschiebe-Einheit können Höhenkarten mit einer maximalen Höhe von 1mm (Auflösung ca. 1/10 µm) erstellt werden. |
| Freie Schlagworte: | Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Aktor elektrostatisch, Dielektrikum elastisch, Impedanzmessplatz mechanisch, Materialeigenschaften Silikon, Oberflächenscan, Oberflächenstruktur, Silikonkautschuk Anwendung |
| ID-Nummer: | 17/24 EMKD 1535 |
| Zusätzliche Informationen: | EMK-spezifische Daten: Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate, Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKD 1535 Art der Arbeit: Diplomarbeit Beginn Datum: 30-06-2003 Ende Datum: 30-09-2003 Querverweis: keiner Studiengang: Elektrotechnik (ET) Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK) Abschluss: Diplom (MFT) |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 31 Aug 2011 10:11 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:53 |
| PPN: | |
| Referenten: | Jungmann, Dipl.-Ing. Markus ; Schlaak, Prof. Dr.- Helmut Friedrich |
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