Nguyen, Linh Nam (2011)
Mikrostrukturen für die Integration von Nanodrahtarrays in MEMS.
Technische Universität Darmstadt
Masterarbeit, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
Zusammenfassung:
Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung und der Durchführung von Verfahren zur Fertigung von Mikrostrukturen (metallischen Pfosten) in der Umgebung von Nanodrahtarrays, um einen Inertialsensor (beispielweise Beschleunigungssensor) aufzubauen. Die Nanodrahtarrays bestehen aus senkrecht galvanisch abgeschiedenen metallischen Nanodrähten mit Überwachsungen an der Oberseite eines Substrats, die die seismische Masse bilden. Die Verfahren müssen sich mit der galvanischen Abscheidung der Nanodrähten und des quaderförmigen Massekopfs in Polymertemplaten kombinieren lassen.
Freitragende Elektroden sollen mit kleinen vertikalen Abständen zu Nanodrahtarrays hergestellt werden. Die Nanodrähte, der Massekopf, die Pfosten und die Elektroden können aus Kupfer, Gold oder Nickel bestehen. Bei dem Polymertemplat handelt es sich um Polycarbonat.
Die freitragenden Elektrodenstrukturen sollen für differentiell kapazitive Inertialsensoren mit Nanodrahtarrays als Federelemente zum Einsatz kommen.
Wenn eine Beschleunigung a des Systems auftritt, entsteht eine Verschiebung w der Nanodrähte und damit auch eine Verschiebung des Massekopfs. Der Abstand zwischen dem Massekopf und der Elektroden ändert sich und diese Abstandsänderung führt zu einer Kapazitätsänderung ΔC, die messbar ist.
Kenndaten für a = 10g
Verschiebung w in nm;
ΔC in fF
* Kupfer:
w: 0,266;
ΔC: 1,0340*10^3
* Nickel:
w: 0,169;
ΔC: 6,5908*10^4
* Gold:
w: 0,933;
ΔC: 3,6300*10^3
| Typ des Eintrags: | Masterarbeit |
|---|---|
| Erschienen: | 2011 |
| Autor(en): | Nguyen, Linh Nam |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Mikrostrukturen für die Integration von Nanodrahtarrays in MEMS |
| Sprache: | Deutsch |
| Referenten: | Quednau, Dipl.-Ing. Sebastian ; Greiner, Dipl.-Ing. Felix ; Schlaak, Prof. Dr.- Helmut Friedrich |
| Publikationsjahr: | 20 April 2011 |
| Zugehörige Links: | |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Zusammenfassung: Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung und der Durchführung von Verfahren zur Fertigung von Mikrostrukturen (metallischen Pfosten) in der Umgebung von Nanodrahtarrays, um einen Inertialsensor (beispielweise Beschleunigungssensor) aufzubauen. Die Nanodrahtarrays bestehen aus senkrecht galvanisch abgeschiedenen metallischen Nanodrähten mit Überwachsungen an der Oberseite eines Substrats, die die seismische Masse bilden. Die Verfahren müssen sich mit der galvanischen Abscheidung der Nanodrähten und des quaderförmigen Massekopfs in Polymertemplaten kombinieren lassen. Freitragende Elektroden sollen mit kleinen vertikalen Abständen zu Nanodrahtarrays hergestellt werden. Die Nanodrähte, der Massekopf, die Pfosten und die Elektroden können aus Kupfer, Gold oder Nickel bestehen. Bei dem Polymertemplat handelt es sich um Polycarbonat. Die freitragenden Elektrodenstrukturen sollen für differentiell kapazitive Inertialsensoren mit Nanodrahtarrays als Federelemente zum Einsatz kommen. Wenn eine Beschleunigung a des Systems auftritt, entsteht eine Verschiebung w der Nanodrähte und damit auch eine Verschiebung des Massekopfs. Der Abstand zwischen dem Massekopf und der Elektroden ändert sich und diese Abstandsänderung führt zu einer Kapazitätsänderung ΔC, die messbar ist. Kenndaten für a = 10g Verschiebung w in nm; ΔC in fF * Kupfer: w: 0,266; ΔC: 1,0340*10^3 * Nickel: w: 0,169; ΔC: 6,5908*10^4 * Gold: w: 0,933; ΔC: 3,6300*10^3 |
| Freie Schlagworte: | Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Beschleunigungsaufnehmer, Inertialsensor, Mikro-Nano-Integration, Nanodraht, Nanodrahtarray |
| ID-Nummer: | 17/24 EMKM 1757 |
| Zusätzliche Informationen: | EMK-spezifische Daten: Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate, Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKM 1757 Art der Arbeit: Masterarbeit Beginn Datum: 21-10-2010 Ende Datum: 20-04-2011 Querverweis: keiner Studiengang: Elektrotechnik und Informationstechnik (ETiT) Vertiefungsrichtung: Mikro- und Feinwerktechnik (MFT) Abschluss: Master of Science (MSc.) |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 31 Aug 2011 10:24 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:53 |
| PPN: | |
| Referenten: | Quednau, Dipl.-Ing. Sebastian ; Greiner, Dipl.-Ing. Felix ; Schlaak, Prof. Dr.- Helmut Friedrich |
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