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Mikrorelais in Silizium-Mikromechanik

Schlaak, Helmut F. :
Mikrorelais in Silizium-Mikromechanik.
In: Optische und Elektronische Verbindungstechnik: Fachtagung der GMM <1999, München>; Tagungsbd. .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1999)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1999
Autor(en): Schlaak, Helmut F.
Titel: Mikrorelais in Silizium-Mikromechanik
Sprache: Deutsch
Reihe: Optische und Elektronische Verbindungstechnik: Fachtagung der GMM <1999, München>; Tagungsbd.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:00
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