Schlaak, Helmut F. (1999)
Mikrorelais in Silizium-Mikromechanik.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 1999 |
| Autor(en): | Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Mikrorelais in Silizium-Mikromechanik |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 1999 |
| Reihe: | Optische und Elektronische Verbindungstechnik: Fachtagung der GMM <1999, München>; Tagungsbd. |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:00 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 07:39 |
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