Schlaak, Helmut F.
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Mikrorelais in Silizium-Mikromechanik.
In: Optische und Elektronische Verbindungstechnik: Fachtagung der GMM <1999, München>; Tagungsbd.
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[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1999)
| Typ des Eintrags: | Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe) |
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| Erschienen: | 1999 |
| Autor(en): | Schlaak, Helmut F. |
| Titel: | Mikrorelais in Silizium-Mikromechanik |
| Sprache: | Deutsch |
| Reihe: | Optische und Elektronische Verbindungstechnik: Fachtagung der GMM <1999, München>; Tagungsbd. |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:00 |
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