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Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial

Kohlstedt, Anika and Schlaak, Helmut F. (2010):
Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial.
In: 2. GMM Workshop - Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik, Darmstadt, 10. Mai 2010, [Conference or Workshop Item]

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Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2010
Creators: Kohlstedt, Anika and Schlaak, Helmut F.
Title: Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial
Language: German
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
Event Title: 2. GMM Workshop - Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
Event Location: Darmstadt
Event Dates: 10. Mai 2010
Date Deposited: 04 Nov 2010 14:30
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