Kohlstedt, Anika ; Schlaak, Helmut F. (2010)
Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial.
2. GMM Workshop - Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik. Darmstadt (10. Mai 2010)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
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| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2010 |
| Autor(en): | Kohlstedt, Anika ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 10 Mai 2010 |
| Veranstaltungstitel: | 2. GMM Workshop - Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik |
| Veranstaltungsort: | Darmstadt |
| Veranstaltungsdatum: | 10. Mai 2010 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 04 Nov 2010 14:30 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:25 |
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Verfügbare Versionen dieses Eintrags
- Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial. (deposited 04 Nov 2010 14:30) [Gegenwärtig angezeigt]
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