Schlaak, Helmut F. ; Greiner, P. F. (2009)
Mikro-Integration – Neue Funktionen für Mikrosysteme durch Nanotechnologie.
1. GMM-Workshop; GMM Fachbericht 60 "Mikro-Nano-Integration". Seeheim (12.03.2009-13.03.2009)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2009 |
| Autor(en): | Schlaak, Helmut F. ; Greiner, P. F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Mikro-Integration – Neue Funktionen für Mikrosysteme durch Nanotechnologie |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 12 Oktober 2009 |
| Ort: | Berlin, Offenbach |
| Veranstaltungstitel: | 1. GMM-Workshop; GMM Fachbericht 60 "Mikro-Nano-Integration" |
| Veranstaltungsort: | Seeheim |
| Veranstaltungsdatum: | 12.03.2009-13.03.2009 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 04 Okt 2010 12:45 |
| Letzte Änderung: | 26 Jan 2024 11:00 |
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