Kohlstedt, Anika ; Staab, Matthias ; Schlaak, Helmut F. (2009)
Langzeituntersuchungen zur Eignung von SU-8 als Konstruktionswerkstoff.
Proceedings Mikrosystemtechnik Kongress 2009. Berlin (12.10.2009-14.10.2009)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2009 |
| Autor(en): | Kohlstedt, Anika ; Staab, Matthias ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Langzeituntersuchungen zur Eignung von SU-8 als Konstruktionswerkstoff. |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 12 Oktober 2009 |
| Veranstaltungstitel: | Proceedings Mikrosystemtechnik Kongress 2009 |
| Veranstaltungsort: | Berlin |
| Veranstaltungsdatum: | 12.10.2009-14.10.2009 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 27 Aug 2010 13:45 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:20 |
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