Rubio-Sierra, F. J. ; Burghardt, S. ; Kempe, A. ; Heckl, W. M. ; Stark, R. W. (2004)
Atomic force microscope based nanomanipulator for mechanical and optical lithography.
Proc. 2004 4th IEEE Conf. Nanotechnology. Munich, Germany (17.08.2004-19.08.2004)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2004 |
| Autor(en): | Rubio-Sierra, F. J. ; Burghardt, S. ; Kempe, A. ; Heckl, W. M. ; Stark, R. W. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Atomic force microscope based nanomanipulator for mechanical and optical lithography |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2004 |
| Veranstaltungstitel: | Proc. 2004 4th IEEE Conf. Nanotechnology |
| Veranstaltungsort: | Munich, Germany |
| Veranstaltungsdatum: | 17.08.2004-19.08.2004 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | ?? fb99_csi~fg5 ?? nicht bekannt Zentrale Einrichtungen |
| Hinterlegungsdatum: | 05 Jul 2010 12:54 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:35 |
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