Rombach, Pirmin ; Steiger, H. ; Langheinrich, W. (1995)
Planar coils with ferromagnetic yoke for a micromachined torque sensor.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering, 5
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Rombach, Pirmin ; Steiger, H. ; Langheinrich, W. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Planar coils with ferromagnetic yoke for a micromachined torque sensor |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Verlag: | IOP Publishing Ltd |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 5 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:58 |
| Letzte Änderung: | 17 Jan 2022 11:00 |
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