| Typ des Eintrags: |
Konferenzveröffentlichung
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| Erschienen: |
1995 |
| Herausgeber: |
Bareikis, V. |
| Autor(en): |
Riemenschneider, Rolf ; Gottwald, P. ; Hartnagel, Hans L. |
| Art des Eintrags: |
Bibliographie |
| Titel: |
Characterisation of SiO2 deposition by low-temperature plasma and photo CVD using low-frequency noise measurements |
| Sprache: |
Englisch |
| Publikationsjahr: |
1995 |
| Ort: |
Singapore |
| Verlag: |
World Scientific |
| Buchtitel: |
Noise in physical systems and 1/f fluctuations : proceedings of the 13th International Conference, Palanga, Lithuania, 29 May-3 June 1995 |
| Veranstaltungstitel: |
13th International Conference on Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations (ICNF'95) |
| Veranstaltungsort: |
Palanga, Lithuania |
| Veranstaltungsdatum: |
29.05.1995-03.06.1995 |
| Zugehörige Links: |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): |
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: |
19 Nov 2008 15:58 |
| Letzte Änderung: |
02 Feb 2024 13:36 |
| PPN: |
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| Export: |
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