Berky, W. ; Gottschalk, S. ; Elliman, R. G. ; Balogh, Adam G. (2006)
Orientation dependent ion beam mixing of Ta/Si interfaces.
In: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms, 249 (1-2)
doi: 10.1016/j.nimb.2006.03.114
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2006 |
| Autor(en): | Berky, W. ; Gottschalk, S. ; Elliman, R. G. ; Balogh, Adam G. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Orientation dependent ion beam mixing of Ta/Si interfaces |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2006 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 249 |
| (Heft-)Nummer: | 1-2 |
| DOI: | 10.1016/j.nimb.2006.03.114 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften |
| Hinterlegungsdatum: | 24 Jun 2009 06:59 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:20 |
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