Bejarano, G. ; Caicedo, J. M. ; Baca, E. ; Prieto, P. ; Balogh, Adam G. ; Enders, S. (2006)
Deposition of BC/BCN/c-BN multilayered thin films by r.f. magnetron sputtering.
In: Thin Solid Films, 494 (1-2)
doi: 10.1016/j.tsf.2005.08.192
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2006 |
| Autor(en): | Bejarano, G. ; Caicedo, J. M. ; Baca, E. ; Prieto, P. ; Balogh, Adam G. ; Enders, S. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Deposition of BC/BCN/c-BN multilayered thin films by r.f. magnetron sputtering |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2006 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Thin Solid Films |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 494 |
| (Heft-)Nummer: | 1-2 |
| DOI: | 10.1016/j.tsf.2005.08.192 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften |
| Hinterlegungsdatum: | 24 Jun 2009 08:25 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:20 |
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