Steinmann, Ralf ; Friemann, Harald ; Prescher, C. ; Schellin, Ralf (1995)
Mechanical behaviour of micromachined sensor membranes under uniform external pressure affected by in-plane stresses using a Ritz method and Hermite polynomials.
In: Sensors and Actuators A : Physical, 48 (1)
doi: 10.1016/0924-4247(95)00849-7
Artikel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Artikel |
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Erschienen: | 1995 |
Autor(en): | Steinmann, Ralf ; Friemann, Harald ; Prescher, C. ; Schellin, Ralf |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Mechanical behaviour of micromachined sensor membranes under uniform external pressure affected by in-plane stresses using a Ritz method and Hermite polynomials |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 1995 |
Verlag: | Elsevier |
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Sensors and Actuators A : Physical |
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 48 |
(Heft-)Nummer: | 1 |
DOI: | 10.1016/0924-4247(95)00849-7 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 13 Fachbereich Bau- und Umweltingenieurwissenschaften |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:57 |
Letzte Änderung: | 02 Feb 2024 13:12 |
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