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Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen

Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk (2005)
Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2005
Autor(en): Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 2005
Ort: 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem Thema "Maschinenbau von Makro bis Nano"] / Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Eng
Verlag: Peter Scharff].- Ilmenau : Verl. ISLE
Reihe: :Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 19. - 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:24
Letzte Änderung: 19 Apr 2016 08:08
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