Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk (2005)
Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
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Erschienen: | 2005 |
Autor(en): | Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen |
Sprache: | Deutsch |
Publikationsjahr: | 2005 |
Ort: | 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem Thema "Maschinenbau von Makro bis Nano"] / Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Eng |
Verlag: | Peter Scharff].- Ilmenau : Verl. ISLE |
Reihe: | :Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 19. - 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:24 |
Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:08 |
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