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Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen

Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk (2005)
Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen.
50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium. Ilmenau (19. - 23.9.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2005
Autor(en): Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 2005
Ort: Ilmenau
Verlag: ISLE
Buchtitel: 50. Internationales wissenschaftliches Kolloquium 19. - 23.09.2005 ;; Tagungsbd ;; Mechanical engineering from Macro to Nano
Veranstaltungstitel: 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Veranstaltungsort: Ilmenau
Veranstaltungsdatum: 19. - 23.9.2005
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:24
Letzte Änderung: 06 Dez 2024 08:43
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