Zhou, Yanping ; Probst, Daniel ; Thissen, Andreas ; Kroke, Edwin ; Riedel, Ralf ; Hauser, Ralf ; Hoche, Holger ; Broszeit, Erhard ; Kroll, Peter ; Stafast, Herbert (2005)
Hard silicon carbonitride films obtained by RF-plasma enhanced chemical vapour deposition using the single source precursor Bis(trimethylsilyl)-carbodiimide.
In: Journal of the European Ceramic Society, 26
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Zhou, Yanping ; Probst, Daniel ; Thissen, Andreas ; Kroke, Edwin ; Riedel, Ralf ; Hauser, Ralf ; Hoche, Holger ; Broszeit, Erhard ; Kroll, Peter ; Stafast, Herbert |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Hard silicon carbonitride films obtained by RF-plasma enhanced chemical vapour deposition using the single source precursor Bis(trimethylsilyl)-carbodiimide |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2005 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of the European Ceramic Society |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 26 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:22 |
| Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:25 |
| PPN: | |
| Export: | |
| Suche nach Titel in: | TUfind oder in Google |
 |
Frage zum Eintrag |
Optionen (nur für Redakteure)
 |
Redaktionelle Details anzeigen |
Drucken
Impressum