Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk ; Zeyher, P. ; Schlaak, Helmut F. (2002)
Planare Schrittantriebe für miniaturisierte Positioniersysteme.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2002 |
| Autor(en): | Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk ; Zeyher, P. ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Planare Schrittantriebe für miniaturisierte Positioniersysteme |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 2002 |
| Reihe: | Technische Universität <Ilmenau>: Internationales wissenschaftliches Kolloquium, Tagungsband |
| Band einer Reihe: | 47 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:22 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 07:46 |
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